Comparado com a pulverização tradicional de dois fluidos, a pulverização ultrassônica tem as vantagens de alta uniformidade de revestimento, alta utilização de matéria-prima, alta precisão de controle de espessura de revestimento, espessura de revestimento mais fina, menos respingos, sem entupimento de bicos e baixos custos de manutenção. Em comparação com a evaporação a vácuo, CVD e outros processos de revestimento, a pulverização ultrassônica é um processo de revestimento de filme fino mais econômico, especialmente para preparação de filme de área maior. O custo do equipamento de pulverização ultrassônica é muito menor do que o equipamento de revestimento a vácuo. Vamos apresentar brevemente as principais vantagens da pulverização ultrassônica.
Alta uniformidade de revestimento
A uniformidade da distribuição das partículas líquidas após serem atomizadas pelo bico ultrassônico é significativamente maior do que a do bico de dois fluidos, também conhecido como pistola de pulverização de ar, de modo que a uniformidade do revestimento após a pulverização do bico ultrassônico também é significativamente melhorada. Geralmente, a uniformidade do revestimento por spray ultrassônico pode chegar a mais de 95%.
2. Alta utilização de matéria-prima e menos respingos
Como a pulverização ultrassônica é a atomização de líquido por vibração ultrassônica, o revestimento não é atomizado durante o processo de atomização, ou seja, o processo de atomização não requer pressão e apenas uma pressão de gás de arraste muito baixa é aplicada após a atomização para transportar a névoa líquida. Ele reduz bastante o respingo e o respingo do líquido causados pelo ar de alta pressão pulverizado por dois fluidos, melhorando significativamente a taxa de utilização do revestimento. A taxa de utilização de matéria-prima da pulverização ultrassônica é mais de 4 vezes maior do que a pulverização de ar comum e a taxa de utilização pode chegar a mais de 90%.
3. Alta precisão de controle de espessura de revestimento
O principal fator que afeta a precisão da espessura do revestimento é a vazão de pulverização do revestimento, ou seja, a quantidade de material carregada no substrato por unidade de tempo. A cabeça de pulverização ultrassônica não exerce nenhuma pressão sobre o líquido, portanto, pode controlar completamente o fluxo do líquido do revestimento atomizado por pulverização por meio de uma bomba dosadora de alta precisão, conseguindo assim um controle de fluxo de pulverização de alta precisão. Tal como uma bomba de seringa de alta precisão, sua precisão de controle de fluxo pode atingir o nível de picolitros por segundo, e o design de microcanal do bico ultrassônico também pode atingir a precisão de controle geral de nanolitros por segundo.
4. A espessura do revestimento fino pode chegar a dezenas de nanômetros
Como o volume de pulverização da cabeça de pulverização ultrassônica pode atingir uma taxa de fluxo estável muito baixa (0,001ml / min), pode atingir uma quantidade de upload muito pequena no substrato, alcançando assim um filme seco muito fino. Para alguns nanomateriais, a espessura do filme seco pode ser tão baixa quanto dezenas de nanômetros. Ele pode ser usado para preparar filmes finos de vidro, como filme condutor transparente, filme anti-reflexo anti-reflexo, filme protetor de calor e filme hidrofóbico.
5. Sem entupimento de bocais e baixo custo de manutenção
Como o bico ultrassônico é um líquido atomizado por oscilação ultrassônica e as partículas atomizadas são determinadas pela frequência de oscilação ultrassônica, ele é diferente do bico de dois fluidos. O diâmetro do bico não precisa ser muito pequeno para obter partículas atomizadas finas, portanto, reduz o risco de entupimento do bico.
